兆易创新获发明专利授权:“一种存储器及其制备方法”20
据企查查数据显示,兆易创新近日获得一项发明专利授权,专利名为“一种存储器及其制备方法”,专利申请号为CN201910305735.8,授权日为2023年12月1日。 专利摘要:本发明公开了一种存储器及其制备方法。其中,存储器包括:衬底基板,衬底基板包括多个有源区和多个浅槽隔离区,有源区和浅槽隔离区间隔设置;位于浅槽隔离区对应的衬底基板一侧的隔离层,隔离层内形成有凹槽结构;位于有源区对应的衬底基板一侧的第一浮栅;位于第一浮栅和凹槽结构内壁表面上的第二浮栅,第二浮栅在凹槽结构的底面位置断开连接;位于第二浮栅上的介质层,介质层覆盖暴露在第二浮栅外的隔离层;位于介质层上的控制栅。本发明实施例提供的存储器具有功耗低的优势。 今年以来兆易创新新获得专利授权40个,较去年同期减少了47.37%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4.77亿元,同比减4.07%。 |